TEM の紹介

透過型電子顕微鏡（TEM）は、電子線を光源とした電子顕微鏡をベースとした微小物理構造解析手法であり、最大分解能は約0.1nmです。TEM技術の出現により、人間の肉眼による微細構造観察の限界が大幅に改善され、半導体分野では欠かせない顕微鏡観察装置となっているほか、プロセスの研究開発、量産プロセスのモニタリング、プロセスにも不可欠な装置となっています。半導体分野における異常解析。

TEM は、ウェーハ製造プロセス分析、チップ故障分析、チップ反転分析、コーティングおよびエッチング半導体プロセス分析など、半導体分野で非常に幅広い用途を持っており、顧客ベースはファブ、パッケージング工場、チップ設計会社、半導体装置研究開発、材料研究開発、大学研究機関など。

GRGTEST TEM 技術チームの能力紹介
TEM 技術チームは Chen Zhen 博士が率いており、チームの技術的バックボーンには関連業界で 5 年以上の経験があります。TEM結果解析の豊富な経験だけでなく、FIBサンプル作製の経験も豊富で、7nm以上の先端プロセスウエハや各種半導体デバイスの主要構造を解析する能力を持っています。現在、当社の顧客は国内の第一線工場、パッケージング工場、チップ設計会社、大学、科学研究機関などにあり、広く認知されています。